广泛应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、太阳能、冶炼、封装测试、真空含浸、等离子清洗等行业。

1、启动快，耗功少，运转维护费用低，抽速大、效率高；

2、被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感，在100～1帕压力范围内有较大抽气速率，能迅速排除突然放出的气体；

3、泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；

4、泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

5、转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙

6、不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；

由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的缸体空间内，再经排气口排出。由于吸气后缸体空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，缸体空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到缸体空间中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

抽   速：每小时4200立方米；

使用前机泵时的有效抽速：每小时3100立方米；

功   率：11kw；

进气口径：ISO250；

排气口径：ISO100；

转速：2950rpm

电   压：三相380V；

体积（长宽高）：1380*526*508mm；

重   量：400kg；

噪   音：75dB；

油   量：10L